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2022-04-26来源: 互联网 -
HRXRD在先进FD-SOI技术在线监测中的应用(一)
SiGe层的厚度。完全应变的Si1-xGex层的Ge组分也可使用Dismuke关系依未应变层的晶格参数公式确定:a(Si1-xGex) = 5.43105 + 0.1988x + 0.028x
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